1. روش های نوین در تکنولوژی ساخت لایه ها: مقدمه ای بر تکنیک های خلا، پراکنتش ، پلاسماو کاربردهای آن ، چشمه هاو پرتوهای یونی

پدیدآورنده :

کتابخانه: کتابخانه مرکزی دانشگاه علم و صنعت ایران (طهران)

موضوع : لایه های نازک پلاسما )گازهای یونیزه (

رده :
QC
،
718/4
،
/
م
6
ر
9
،
1364